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半導体・液晶・FPD関連取扱い品
私たちの半導体・液晶・FPD関連部門は、材料ガスとガス供給設備のオペレーション・
メンテナンス・エンジニアリングを中心に、表面処理、冷却、洗浄の分野でお客様の生産支援を致します。
製造をはじめ貯蔵から供給、精製や消費、装置メンテナンス、排気除害にいたるまでの
トータルなシステムを開発し、ご提供しています。
ネオン、キセノン、クリプトン、各種混合ガスを供給しています。
卓上通電燒結装置+アーク式小型成膜実験装置で、想いのターゲット製作から成膜実験まで1日で可能に。
表面皮膜の開発が画期的に早まります。
フィルタードアーク蒸着装置、
その他各種コーティング装置販売
生産用に、最新鋭フィルタードアークイオン蒸着装置、イオンプレーティング装置、
その他の装置を販売しています。
DLC、TiAl、TiN、TiC、CrN、SiCその他各種コーティングを受託しています。
Al2O3、YAG/Y2O3、Y2O3、半導体装置剥離防止コーティング を受託しています。
表面皮膜の密着力・摩擦係数・耐摩耗性・膜厚等を測定する試験機を販売しています。
Cターゲット、Taターゲット、Tiターゲット、Nbターゲット、Wターゲット、
その他特殊組成ターゲット材を販売しています。
チラーユニット販売
半導体装置用チラーユニット・冷媒を販売しています。
洗浄剤販売
フッ素系洗浄剤、
炭化水素系洗浄剤、水系洗浄剤、Newテクノケアを販売しています。