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特殊材料ガス(半導体・液晶用)ラインナップ

 
ウエキコーポレーションは、Si半導体・化合物半導体・液晶・太陽電池・光ファイバー等の様々な分野で使用する、NF3、シラン、アルシン、ホスフィン、アンモニア、有機金属各種に代表される特殊材料ガス(半導体用ガス、液晶用ガス)を、研究開発等の少量から量産向け大量供給まで対応しております。
  • SiH4モノシラン
  • PH3ホスフィン
  • B2H6ジボラン
  • AsH3アルシン
  • NH3アンモニア
  • HCℓ塩化水素
  • SiH2Cℓ2ジクロルシラン
  • Si2H6ジシラン
  • SiHCℓ3三塩化シラン
  • SiCℓ4四塩化ケイ素
  • BCℓ3三塩化ホウ素
  • NF3三フッ化窒素
  • WF6六フッ化タングステン
  • HBr臭化水素
  • Cℓ2塩素
  • BF3三フッ化ホウ素
  • CO一酸化炭素
  • F2フッ素
  • SF6六フッ化硫黄
  • C2F6フロンー116
  • C3F8フロンー218
  • C4F6フロンー316
  • C4F8フロンー316C
  • C5F8フロンー418
  • CH2F2フロンー32
  • CH3Fフロンー41
  • CHF3フロンー23
  • CℓF3三フッ化塩素
  • SiF4四フッ化ケイ素
  • N2O亜酸化窒素
  • HFフッ化水素
  • TEOSテトラエトキシシラン
  • TEOAトリエキシルアルシン
  • TEBトリエトキシボロン
  • TMBトリメトキシボロン
  • TMSトリメチルシラン
  • TDMATテトラキスジ
     メチルアミノチタン

  • TMGトリメチルガリウム
  • TEGトリエチルガリウム
  • TMAトリメチルアミン
  • TMIトリメチルインジウム
  • DMZジメチル亜鉛
  • DEZジエチル亜鉛
特殊材料ガス(半導体用ガス、液晶用ガス)のことならウエキコーポレーションまでお気軽にご相談下さい。
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