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特殊材料ガス(半導体・液晶用)ラインナップ
ウエキコーポレーションは、Si半導体・化合物半導体・液晶・太陽電池・光ファイバー等の様々な分野で使用する、NF3、シラン、アルシン、ホスフィン、アンモニア、有機金属各種に代表される特殊材料ガス(半導体用ガス、液晶用ガス)を、研究開発等の少量から量産向け大量供給まで対応しております。
SiH
4
モノシラン
PH
3
ホスフィン
B
2
H
6
ジボラン
AsH
3
アルシン
NH
3
アンモニア
HCℓ
塩化水素
SiH
2
Cℓ
2
ジクロルシラン
Si
2
H
6
ジシラン
SiHCℓ
3
三塩化シラン
SiCℓ
4
四塩化ケイ素
BCℓ
3
三塩化ホウ素
NF
3
三フッ化窒素
WF
6
六フッ化タングステン
HBr
臭化水素
Cℓ
2
塩素
BF
3
三フッ化ホウ素
CO
一酸化炭素
F
2
フッ素
SF
6
六フッ化硫黄
C
2
F
6
フロンー116
C
3
F
8
フロンー218
C
4
F
6
フロンー316
C
4
F
8
フロンー316C
C
5
F
8
フロンー418
CH
2
F
2
フロンー32
CH
3
F
フロンー41
CHF
3
フロンー23
CℓF
3
三フッ化塩素
SiF
4
四フッ化ケイ素
N
2
O
亜酸化窒素
HF
フッ化水素
TEOS
テトラエトキシシラン
TEOA
トリエキシルアルシン
TEB
トリエトキシボロン
TMB
トリメトキシボロン
TMS
トリメチルシラン
TDMAT
テトラキスジ
メチルアミノチタン
TMG
トリメチルガリウム
TEG
トリエチルガリウム
TMA
トリメチルアミン
TMI
トリメチルインジウム
DMZ
ジメチル亜鉛
DEZ
ジエチル亜鉛
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