TOP/商品とサービス/ガス販売/特殊材料ガス(半導体・液晶用)/NF3・WF6・HBr
NF3 三フッ化窒素
CAS No, 7783-54-2
性質 |
関係法令 |
状態 |
自然 |
可燃 |
不燃 |
支燃 |
毒性 |
腐食 |
危険物 |
毒劇物 |
特化物 |
圧縮 |
液化 |
|
|
|
○ |
○ |
|
|
|
|
○ |
|
分子量 |
ガス密度 kg/m3 (0℃.1atm) |
比重 (空気=1) |
液密度 kg/L (沸点) |
爆発限界 %(空気中) |
許容濃度 ppm (ACGIH) |
71.00 |
2.96(20℃) |
2.46(20℃) |
1.35(11℃) |
- |
10 |
応急処置
- 吸入:肺及び腎臓に障害をおこすことがあるため、軽度の被ばくでも直ちに
- 医師の手当てを受ける。
- 皮膚:三フッ化窒素は皮膚に対する障害を起こさないが、不純物であるフッ素やHFによる
- 障害を防止するため、被ばく部所を清浄な流水で洗浄する。
- 眼 :三フッ化窒素は反応性、分解性がないため、特に障害を起こさないが、不純物である
- フッ素やHFによる障害を起こすことがあるので被ばく部所を清浄な流水で洗浄する。
火災時の措置
- 消火剤:炭酸ガス消火器、ハロン消火器、水散布
- 使ってはならない消火剤:粉末リン酸アンモニウム、重炭酸塩等はNF3と反応するため、不可。
- 消火方法:支燃性のため、極力可燃物及び火災から遠ざける。
- 消火を行う者の保護:消化を行う者は、空気呼吸器、保護手袋等の保護具を着用する。
漏出時の措置
- 少量漏洩:汚染地域での作業は空気呼吸器及び保護具を着用し必ず複数で行う。
- の場合 :移送中で漏洩が止まらない場合は、開放された場所に移し、部外者が入らないよう
- 周囲を監視するとともに販売業者・製造業者に連絡し指示を受ける。
- 大量漏洩:汚染地域はロープ等で囲み、部外者が立ち入らないよう漏洩がおさまるまで
- の場合 周囲を監視する。
- 人体に対する注意事項:毒性であり、窒息性のあるガスであるため、
- 保護具及び緊急時措置 漏出ガスを吸入しない様にする。
適用法令
- 高圧ガス保安法:第2条(圧縮ガス)
- :一般高圧ガス保安規則第2条(毒性ガス)
- 労働安全衛生法:法第57条2第1項、労働省通達変異原性が認められた新規化学物質
- :規則第24条の14、15(危険有害化学物質に関する危険性又は有害性の表示等)
- :半導体製造工程における安全対策指針(特殊材料ガス)
- 化学物質管理促進法:該当しない。
- 毒物及び劇物取締法:該当しない。
- 地球温暖化対策推進法:第2条第3項(温室効果ガス)
- 土壌汚染対策法:施行令第1条 第2種特定有害物質(フッ素及びその化合物)
- 水質汚濁防止法:施行令第2条 有害物質(フッ素及びその化合物)
- 道路法:施行令第19条の13(車両の通行の制限)
- 船舶安全法:危規則第3条危険物告示別表第1(高圧ガス)
- 港則法:施行規則第12条(危険物告示;高圧ガス)
- 航空法:施行規則第194条危険物(高圧ガス)
WF6 六フッ化タングステン
CAS No, 7783-82-6
性質 |
関係法令 |
状態 |
自然 |
可燃 |
不燃 |
支燃 |
毒性 |
腐食 |
危険物 |
毒劇物 |
特化物 |
圧縮 |
液化 |
|
|
○ |
|
○ |
○ |
|
○ |
|
|
○ |
分子量 |
ガス密度 kg/m3 (0℃.1atm) |
比重 (空気=1) |
液密度 kg/L (沸点) |
爆発限界 %(空気中) |
許容濃度 ppm (ACGIH) |
297.84 |
12.9(15℃) |
10 |
3.543(15℃) |
- |
2.5mg/m3 as F |
応急処置
- 吸入:蒸気を吸入した場合は、速やかに新鮮な空気の場所に移し、
- 安静、保温に努め、急いで医師の手当てを受ける。
- 皮膚:汚染した衣服や靴を直ちに脱がせ被ばく部を多量の清浄な水で洗浄する。
- 眼 :直ちに清浄な流水で洗浄する。
火災時の措置
- 消火剤:ABC消火剤、炭酸ガス、水散布
- 使ってはならない消火剤:情報なし
- 消火方法:有毒なので空気呼吸器を着用の上、風上より出来るだけ遠くから消火作業を行う。
- 火災時の特有:本品は不燃性であり、火災を助長することはないが、加熱により腐食性、
- の有害危険性 毒性の激しい蒸気を発生する。
- 消火を行う者の保護:空気呼吸器、酸性ガス用防毒マスク、保護眼鏡、保護手袋等の着用
漏出時の措置
- 少量漏洩:汚染地域での作業は空気呼吸器及び保護具を着用し必ず複数で行う。
- の場合
- 大量漏洩:汚染地域はロープ等で囲み、部外者が立ち入らないよう漏洩がおさまるまで
- の場合 周囲を監視する。
- 人体に対する注意事項:漏出ガスを吸入しない様にする。
- 保護具及び緊急時措置
適用法令
- 高圧ガス保安法:
- 労働安全衛生法:タングステン及びその水溶性化合物
- :弗素及びその水溶性無機化合物
- :施行令第18条 別表第9(名称等を表示すべき危険物及び有害物)
- :半導体製造工程における安全対策指針(特殊材料ガス)
- 化学物質管理促進法:法第2条第2項、施行令第1別表第1
- (第1種指定化学物質:ふっ化水素及びその水溶性塩)
- 毒物及び劇物取締法:第2条別表第1毒物(六弗化タングステン及びこれを含有する製剤。)
- 労働基準法:法第75条第2項、施行規則第35条、別表第1の2第4号1
- :昭53労告36号(疾病化学物質:弗素及びその無機化合物(弗化水素酸を除く。))
- 土壌汚染対策法:施行令第1条 第2種特定有害物質(フッ素及びその化合物)
- 水質汚濁防止法:施行令第2条 有害物質(フッ素及びその化合物)
- 水道法:第4条第2項 水質基準物質(無機フッ素化合物)
- 下水道法:第9条の4 水質基準物質(フッ素及びその化合物)
- 道路法:施行令第19条の13(車両の通行の制限)
- 船舶安全法:危規則第3条危険物告示別表第1(高圧ガス)
- 港則法:施行規則第12条(危険物告示;高圧ガス)
- 航空法:施行規則第194条危険物(高圧ガス)
HBr 臭化水素
CAS No, 10035-10-6
性質 |
関係法令 |
状態 |
自然 |
可燃 |
不燃 |
支燃 |
毒性 |
腐食 |
危険物 |
毒劇物 |
特化物 |
圧縮 |
液化 |
|
|
○ |
|
○ |
○ |
|
○ |
|
|
○ |
分子量 |
ガス密度 kg/m3 (0℃.1atm) |
比重 (空気=1) |
液密度 kg/L (沸点) |
爆発限界 %(空気中) |
許容濃度 ppm (ACGIH) |
80.92 |
3.33(25℃) |
2.81 |
2.717 |
- |
2.0 |
応急処置
- 吸入:被災者を直ちに空気の新鮮な場所へ移動させ、
- 安静、保温に努め、急いで医師の手当てを受ける。
- 皮膚:付着した部分を多量の清浄な水で最低15分間洗浄し、医師の手当てを受ける。
- 眼 :眼球の隅々まで流水が行き渡るよう目瞼を指でよく開いて洗浄する。
火災時の措置
- 消火剤:不燃性の為、該当しない。
- 使ってはならない消火剤:不燃性の為、該当しない。
- 消火方法:火災を発見したら、先ず部外者を安全な場所に避難させ、適正な保護具を着用し
- 風上より消化作業を行う。
- 火災時の特有:内圧が上昇したり、火災時の特有の:不燃性ガスであるが、容器は火炎に
- の有害危険性 包まれると、安全栓が作動しガスが噴出する恐れがある。
- 消火を行う者の保護:消化作業は、適切な保護具(手袋・眼鏡・マスク等)を着用する。
漏出時の措置
- 少量漏洩:汚染地域での作業は防毒マスク、ゴーグル等の保護具を着用し必ず複数で行う。
- の場合 :容器から液体状態のガスが漏洩すると、急激に蒸発し汚染地域を拡大するため
- 容器をたてて処理する等の液状の漏洩を回避する処置をとる。
- 大量漏洩:被災者がいる場合には、二次災害の恐れがないか確認し、空気呼吸器および
- の場合 保護具を着用し、被災者を安全な場所に運び出す当該作業は必ず複数で行う。
- 人体に対する注意事項:毒性で吸入すると致命傷になる恐れがあるため、
- 保護具及び緊急時措置 部外者を早急に安全な場所に避難させる。
- :処理作業は陽圧自給式空気呼吸器、耐酸衣、ヘルメット、長靴、耐酸手袋等を
- 着装し完全に皮膚を保護して行う。
適用法令
- 高圧ガス保安法:第2条(液化ガス)
- :容器保安規則第2条(毒性ガス)
- 消防法:第9条の3(貯蔵等の届出を要する物質)
- 労働安全衛生法:施行令第18条 別表第9(名称等を表示すべき危険物及び有害物)
- :施行令第18条の2 別表第9(名称等を通知すべき危険物及び有害物)
- 化学物質管理促進法:該当しない。
- 毒物及び劇物取締法:第2条別表第2劇物
- 道路法:施行令第19条の13(車両の通行の制限)
- 船舶安全法:危規則第3条危険物告示別表第1(高圧ガス)
- 港則法:施行規則第12条(危険物告示;高圧ガス)
- 航空法:施行規則第194条危険物(高圧ガス)