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CHF3 三フッ化メタン
CAS No, 75-46-7
性質 |
関係法令 |
状態 |
自然 |
可燃 |
不燃 |
支燃 |
毒性 |
腐食 |
危険物 |
毒劇物 |
特化物 |
圧縮 |
液化 |
|
|
○ |
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|
|
|
|
|
|
○ |
分子量 |
ガス密度 kg/m3 (0℃.1atm) |
比重 (空気=1) |
液密度 kg/L (沸点) |
爆発限界 %(空気中) |
許容濃度 ppm (ACGIH) |
70.01 |
3.126 |
2.43 |
1.029(0℃) |
- |
- |
応急処置
- 吸入:酸素欠乏により人事不省に陥ったときは、新鮮な空気の場所に移し安静、保温に努め、
- 新鮮な空気を吸わせるか、酸素吸入を行い、速やかに医師の手当てを受ける。
- 皮膚:常温のガスの接触では、障害を生じない。
- 眼 :直ちに清浄な流水で少なくとも15分以上の洗浄を行い完全に洗い流す。
火災時の措置
- 消火剤:本物質は不燃性なので、周辺の火災に対し適切な消火剤を使用する。
- 消火方法:本物質は不燃性で着火しない。
- 燃焼時または高温に加熱された場合には、分解して有毒ガス(HF等)が発生するので
- 空気呼吸器を着用の上、風上より出来るだけ遠くから消火作業を行う。
- 火災時の特有:熱分解し、腐食性の強いHF、COF2等の毒性ガスを生成する。
- の有害危険性
- 消火を行う者の保護:消火を行う者は空気呼吸器等の保護具を着用する。
漏出時の措置
- 少量漏洩:汚染地域での作業は、酸欠の恐れがあるため空気呼吸器を着用し必ず複数にて行う。
- の場合 :漏洩が止まらない場合、販売業者・製造業者に連絡し指示を受ける。
- :液状の漏洩物が皮膚にふれると凍傷の恐れがあるため、皮膚の露出を避け
- 保護手袋を着用する。
- 大量漏洩:被災者がいる場合には空気呼吸器を着用し、被災者を速やかに安全な場所に運び出す。
- の場合 当該作業は必ず複数にて行う。
- :地下室、排水溝、下水溝或いは閉鎖場所への流入を防ぐ。
- 人体に対する:密閉した室内で使用する場合は、酸素濃度減少による窒息のおそれがあるので
- 注意事項 部屋の換気を十分に行う必要がある。
適用法令
- 高圧ガス保安法:第2条(液化ガス)
- 労働安全衛生法:規則第24条の14、15
- (危険有害化学物質に関する危険性又は有害性の表示等)
- :半導体製造工程における安全対策指針(特殊材料ガス)
- 化学物質管理促進法:該当しない。
- 毒物及び劇物取締法:該当しない。
- 地球温暖化対策推進法:第2条第3項(温室効果ガス)
- 道路法:施行令第19条の13(車両の通行の制限)
- 船舶安全法:危規則第3条危険物告示別表第1(高圧ガス)
- 港則法:施行規則第12条(危険物告示;高圧ガス)
- 航空法:施行規則第194条危険物(輸送禁止の物件)
CℓF3 三フッ化塩素
CAS No, 7790-91-2
性質 |
関係法令 |
状態 |
自然 |
可燃 |
不燃 |
支燃 |
毒性 |
腐食 |
危険物 |
毒劇物 |
特化物 |
圧縮 |
液化 |
|
|
|
○ |
○ |
○ |
|
|
|
|
○ |
分子量 |
ガス密度 kg/m3 (0℃.1atm) |
比重 (空気=1) |
液密度 kg/L (沸点) |
爆発限界 %(空気中) |
許容濃度 ppm (ACGIH) |
92.45 |
- |
3.18(20℃) |
- |
- |
0.1 |
応急処置
- 吸入:人口呼吸を行う場合、口対口法を用いてはならない。
- 逆流防止バルブのついたポケットマスクや、適当な医療用呼吸器を用いて行う。
- 皮膚:衣類に付着した場合には、付着したフッ酸による二次付着を避けるために、衣類の上から
- 付着した部分を多量の清浄な水で洗浄し、さらに衣類を脱がせ、清浄な水で
- 最低15分間洗浄する。
- 眼 :直ちに清浄な流水で最低15分間洗浄する。
火災時の措置
- 消火剤:粉末消火器、炭酸ガス消火器、ハロン消火器、水散布(周辺火災に合わせる。)
- 使ってはならない消火剤:情報なし。
- 消火方法:有毒なので空気呼吸器を着用の上、風上より消火作業を行う。
- 火災時の特有:容器から三フッ化塩素の漏洩が認められる場合には、直接の注水は
- の有害危険性 水は急激な反応を起こし危険である。
- 消火を行う者の保護:消火を行う者は空気呼吸器等の保護具を着用する。
漏出時の措置
- 少量漏洩:移送中で漏洩が止まらない場合、開放された場所に移し、容器の周囲を土壌等で囲み、
- の場合 :漏洩箇所に濡れタオル等をかぶせ散水しガスを吸収させて拡散を防止するとともに
- 製造業者、販売業者に連絡し指示を受ける。
- :この水を廃棄する場合には消石灰等で無害化処理する。
- 大量漏洩:被災者がいる場合には、二次災害の恐れがないか確認し、空気呼吸器および保護具を
- の場合 着用し、被災者を安全な場所に運び出す。当該作業は必ず複数で行う。
- 人体に対する:人体に関して、激しい腐食性と毒性を持つため、部外者を早急に
- 注意事項 安全な場所に避難させる。
- :処理作業は陽圧自給式空気呼吸器、耐酸衣、ヘルメット長靴、耐酸手袋等を
- 着装し完全に皮膚を保護して行う。
適用法令
- 高圧ガス保安法:第2条(液化ガス)
- 労働安全衛生法:施行令第18条 別表第9(名称等を表示すべき危険物及び有害物)
- :施行令第18条の2 別表第9(名称等を通知すべき危険物及び有害物)
- 化学物質管理促進法:該当しない。
- 毒物及び劇物取締法:該当しない。
- 土壌汚染対策法:施行令第1条第2種特定有害物質(フッ素及びその化合物)
- 水質汚濁防止法:施行令第2条有害物質(フッ素及びその化合物)
- 水道法:第4条第2項水質基準物質(フッ素及びその化合物)
- 下水道法:施行令第9条の4水質基準物質(フッ素及びその化合物)
- 道路法:施行令第19条の13(車両の通行の制限)
- 船舶安全法:危規則第3条危険物告示別表第1(高圧ガス)
- 港則法:施行規則第12条(危険物告示;高圧ガス)
- 航空法:施行規則第194条危険物(高圧ガス)
SiF4 四フッ化ケイ素
CAS No, 7783-61-1
性質 |
関係法令 |
状態 |
自然 |
可燃 |
不燃 |
支燃 |
毒性 |
腐食 |
危険物 |
毒劇物 |
特化物 |
圧縮 |
液化 |
|
|
○ |
|
○ |
○ |
|
|
|
○ |
|
分子量 |
ガス密度 kg/m3 (0℃.1atm) |
比重 (空気=1) |
液密度 kg/L (沸点) |
爆発限界 %(空気中) |
許容濃度 ppm (ACGIH) |
104.09 |
4.33 |
3.57(15℃) |
1.59(-80℃) |
- |
2.5mg/m3 as F |
応急処置
- 吸入:速やかに新鮮な空気の場所に移し、安静、保温に努め、急いで医師の手当てを受けさせる。
- 皮膚:汚染された衣服や靴を直ちに脱がせ被ばく部を多量の清浄な水で洗浄する。
- 眼 :直ちに清浄な流水で洗浄する。
火災時の措置
- 消火剤:粉末消火器、炭酸ガス消火器、水散布(周辺火災に合わせる)
- 使ってはならない消火剤:情報なし。
- 消火方法:有毒なので空気呼吸器を着用の上、風上より消火作業を行う。
- 火災時の特有:容器の移動が可能であれば、速やかに安全な場所へ移動させる
- の有害危険性
- 消火を行う者:消火を行う者の保護:消火を行う者は、空気呼吸器、耐火手袋、耐火服、
- の保護 保護眼鏡等の保護具を着用する。
漏出時の措置
- 少量漏洩:漏洩を発見したら、先ず部外者を安全な場所に避難させ汚染空気を除害装置と連結した
- の場合 :排気設備を用いて排気する。
- 大量漏洩:被災者がいる場合には、二次災害の恐れがないか確認し、空気呼吸器および保護具を
- の場合 着用し、被災者を安全な場所に運び出す。当該作業は必ず複数で行う。
適用法令
- 高圧ガス保安法:第2条(圧縮ガス)
- 労働安全衛生法:施行令第18条 別表第9
- (名称等を表示すべき危険物及び有害物)(弗素及びその水溶性無機化合物)
- :施行令第18条の2 別表第9
- (名称等を通知すべき危険物及び有害物)(弗素及びその水溶性無機化合物)
- :半導体製造工程における安全対策指針(特殊材料ガス)
- 化学物質管理促進法:該当しない。
- 毒物及び劇物取締法:該当しない。
- 労働基準法:法第75条第2項、施行規則第35条・別表第1の2第4号1 昭53年労告36
- (疾病化学物質;弗素及びその無機化合物(弗化水素を酸を除く。))
- 大気汚染防止法:施行令第1条 有害物質
- :施行令第10条 特定物質
- 土壌汚染対策法:施行令第1条第2種特定有害物質(フッ素及びその化合物)
- 水質汚濁防止法:施行令第2条有害物質(フッ素及びその化合物)
- 水道法:第4条第2項水質基準物質(フッ素及びその化合物)
- 下水道法:施行令第9条の4水質基準物質(フッ素及びその化合物)
- 下水道法:施行令第9条の4水質基準物質(フッ素及びその化合物)
- 道路法:施行令第19条の13(車両の通行の制限)
- 船舶安全法:危規則第3条危険物告示別表第1(高圧ガス)
- 港則法:施行規則第12条(危険物告示;高圧ガス)
- 航空法:施行規則第194条危険物(高圧ガス)