特徴
世界の半導体メーカーに販売している実績!
各装置メーカーとの連携で高い信頼性!
実験用から300mmまで幅広く対応!
Ta EnCoRe(300mm)
Cu EnCoRe(300mm)
Ni/Pt ALPS ESI(300mm)
Ta HCM ALT Flange(300mm)
W ENDURA(300mm)
A1Alloy RE-A1PLUS(200mm)
Advantage Ta and Standard Ta: 4N5
Cu: 6N,5N
AL Alloy: 5N,5N5
Ti: 4N5,5N
Smart W: 5N
Low Permeabillity Ni: 4N8
Low Permeabillity Co: 5N
NiPt,Ni/V,CuCr,Ti/W,etc
左記以外の種類の
ターゲットも
製作が可能です。
お問合せ下さい!!