半導体部材/化成品事業

半導体製造を支える部材と工業用薬品の総合サポート

生産環境の各工程をサポートする半導体部材/工業用薬品をご提供しています。半導体製造の重要部材”スパッタリングターゲット”、洗浄剤や冷媒として欠かせない各種材料、それらを供給・使用・回収機器・設備について幅広く対応致します。

Linde社製　半導体各種スパッタリングターゲット

世界の半導体工場に供給実績を持つLinde社製　半導体スパッタリングターゲット。Ta、Cu、AL、AL Alloyなど様々な材料の提供が可能。サイズは150mm～300mm、純度は～6NUP。最新のスパッタリング装置の認定品、Linde独自の長寿命化タイプ（LLT）のご提案を致します。
Linde　半導体/FPD製造装置向け高耐食セラミックコーティング

全世界で展開するLinde Advanced Material Technologies Inc.のコーティング技術は、その高い品質で評価され、あらゆる産業の高度化に貢献しています。
スリーエムジャパン　CMPパッドコンディショナー製品

半導体製造の高難度な課題に対して開発された、ダイヤモンド製、ソフトブラシ製、マイクロレプリケーション製のCMPパッドコンディショナー