半導体部材/化成品事業

半導体製造を支える部材と工業用薬品の総合サポート

生産環境の各工程をサポートする半導体部材/工業用薬品をご提供しています。半導体製造の重要部材”スパッタリングターゲット”、洗浄剤や冷媒として欠かせない各種材料、それらを供給・使用・回収機器・設備について幅広く対応致します。

Linde社製　半導体各種スパッタリングターゲット

世界の半導体工場に供給実績を持つLinde社製　半導体スパッタリングターゲット。Ta、Cu、AL、AL Alloyなど様々な材料の提供が可能。サイズは150mm～300mm、純度は～6NUP。最新のスパッタリング装置の認定品、Linde独自の長寿命化タイプ（LLT）のご提案を致します。
スリーエムジャパン　CMP、冷媒、洗浄製品

スリーエムジャパン社製半導体CMP装置関連部材、チラー装置に使用される冷媒、幅広い産業に使用される不燃を特徴としたフッ素系洗浄剤をご提供致します。
装置関連

ISOクラス１の作業環境を作るオープンクリーンシステム、フッ素溶剤を使用する専用の洗浄装置などをご提供致します。