スリーエムジャパン　ダイヤモンドパッドコンディショナー

パッドコンディショナーは、CMPパッド表面を再生し、パッド摩耗を最小限に抑えて、ウエハーが変わっても一定のアスピリティとパッド性能を維持します。高度に管理された間隔で並んだ単層ダイヤモンドグリッドにより、CMPパッドの使用状態を適切に予測して最適化し、優れた平坦化効率を実現します。

・コントロールされた性能：一定間隔のダイヤモンド突起により優れたパッド平坦性を確保。

 ・長寿命化：ダイヤモンドを3M独自の焼結技術で確実に固定し、 エッジエクスクルージョンゾーンに 　　　　　　よって保護。

 ・カスタマイズ可能：目的のコンディショニング程度に合わせて調整。