スリーエムジャパン　CMPパッドコンディショナーブラシ

メタルフリー構造とCOOの低減を特徴とするCMPパッドコンディショナーブラシはCMP洗浄用途に使用できます。

・耐久性があるメタルフリー構造：独自のブラシ製造技術を使用し、剛毛が1本ずつ独立して　

　固定され、ブラシ表面に均等な分布で配置されています。

・柔らかいCMPパッドに最適：剛性のある剛毛によって、フェルトを使用したソフトパッド

　からデブリを除去します。

・COOの低減：効率的なパッド洗浄とCMPスラリー分布。