スリーエムジャパン ノベック ＨＦＥ（ハイドロフルオロエーテル）
＜3M＞＜ノベック＞ＨＦＥ（ハイドロフルオロエーテル）
環境特性／性能／安全性をバランス良く備えた液体です。
洗浄・溶剤・温度制御にご使用いただけます。
【特 徴】
- オゾン破壊係数ゼロ。低い地球温暖化係数。
- 実用上無毒。不燃・引火点無し。高い許容濃度。
- 低い表面張力・粘度。
- 優れた材料適合性。
- 電気絶縁性能に優れる。
- 熱伝達性に優れる。
- 低温での粘性変化が少ない。
- 熱的・化学的安定性。
- 液体としての温度範囲が広い。
【用途例】
- CCD・CMOSセンサー等電子デバイスの除塵（パーティクル除去）
- エンジンガスケットのプレス後洗浄
- カメラなどのレンズの水切り・乾燥
- ドライエッチング装置、ステッパー露光装置、プローバー等の冷却ブライン用途
- フッ素系堆積物（デポジット）の除去
- フッ素コーティング剤、フッ素オイル用溶剤。
- PTFEフッ素樹脂の分散媒
＜ノベック＞HFEを使用した洗浄装置も取扱っております。