ＳｉＨ２Ｃl２ ジクロロシラン
応急処置
| 吸入：速やかに新鮮な空気の場所に移し、安静、保温に努め、急いで医師の手当てを受ける。 皮膚：火傷の恐れがあるので、清浄な水で十分に冷やす。 洗浄が不十分であったり、処置が遅れると皮膚に障害が残る可能性がある。 眼 ：直ちに清浄な流水で洗浄する。 |
火災時の措置
| 消火剤：ドライケミカル、炭酸ガス消火器、乾燥砂 使ってはならない：アルカリ性粉末の消火剤は使用禁止。大火災の場合は 消火剤 水をもちいてはならない。耐アルコール性泡消火剤を用いる。 消火方法：有毒なので、空気呼吸器を着用の上、風上より出来るだけ遠くから消火作業を行う。 火災時の特有：漏洩ガス火災の場合には、漏洩が安全に停止されない限り消火を行わないこと。 の有害危険性 安全に対処できるならば、着火源を除去すること。 消火を行う者：消火を行う者は、陽圧自給式空気呼吸器、保護手袋、安全ゴーグル、安全靴等の の保護 保護具を着用する。 |
漏出時の措置
| 少量漏洩：漏洩を発見したら、先ず部外者を安全な場所に避難させ、汚染空気を除害装置と の場合 連結した排気設備を用いて排気する。 ：汚染地域での作業は、空気呼吸器及び保護具を着用し必ず複数で行う。 大量漏洩：漏洩を発見したら、先ず部外者を避難させ、風上の安全な場所に避難し販売業者・ の場合 製造業者に連絡し指示を受ける。 ：除害装置と連結した遠隔操作の緊急排気設備があれば、速やかに起動し汚染空気を 排気する。 ：散水や水噴霧等により拡散させ着火・爆発を防止する措置を取る。 人体に対する注意事項：漏洩ガスを吸入しないようにする。 保護具及び緊急時措置 処理作業は陽圧自給式空気呼吸器、ヘルメット、手袋等を着装して行う。 |
適用法令
| 高圧ガス保安法： 労働安全衛生法：施行令別表第１（危険物；可燃性のガス） ：規則第24条の14、15(危険有害化学物質に関する危険性又は有害性の表示等) ：半導体製造工程における安全対策指針（特殊材料ガス） 化学物質管理促進法：該当しない。 毒物及び劇物取締法：該当しない。 道路法：施行令第１９条の１３（車両の通行の制限） 船舶安全法：危規則第３条危険物告示別表第１（高圧ガス） 港則法：施行規則第１２条（危険物告示；高圧ガス） 航空法：施行規則第１９４条危険物（高圧ガス） |