応急処置

吸入:酸素欠乏により人事不省に陥ったときは、新鮮な空気の場所に移し安静、保温に努め、
   新鮮な空気を吸わせるか、酸素吸入を行い、速やかに医師の手当てを受ける。
皮膚:常温のガスの接触では、障害を生じない。
眼 :直ちに清浄な流水で少なくとも15分以上の洗浄を行い完全に洗い流す。

火災時の措置

消火剤:本物質は不燃性なので、周辺の火災に対し適切な消火剤を使用する。
消火方法:本物質は不燃性で着火しない。
     燃焼時または高温に加熱された場合には、分解して有毒ガス(HF等)が発生するので
     空気呼吸器を着用の上、風上より出来るだけ遠くから消火作業を行う。
火災時の特有:熱分解し、腐食性の強いHF、COF2等の毒性ガスを生成する。
の有害危険性
消火を行う者の保護:消火を行う者は空気呼吸器等の保護具を着用する。

漏出時の措置

少量漏洩:汚染地域での作業は、酸欠の恐れがあるため空気呼吸器を着用し必ず複数にて行う。
の場合:漏洩が止まらない場合、販売業者・製造業者に連絡し指示を受ける。
   :液状の漏洩物が皮膚にふれると凍傷の恐れがあるため、皮膚の露出を避け保護手袋を
    着用する。
大量漏洩:被災者がいる場合には空気呼吸器を着用し、被災者を速やかに安全な場所に運び出す。
の場合  当該作業は必ず複数にて行う。
    :地下室、排水溝、下水溝或いは閉鎖場所への流入を防ぐ。
人体に対する:密閉した室内で使用する場合は、酸素濃度減少による窒息のおそれがあるので
注意事項   部屋の換気を十分に行う必要がある。

適用法令

高圧ガス保安法:第2条(液化ガス)
労働安全衛生法:規則第24条の14、15
        (危険有害化学物質に関する危険性又は有害性の表示等)               
       :半導体製造工程における安全対策指針(特殊材料ガス)
化学物質管理促進法:該当しない。
毒物及び劇物取締法:該当しない。
地球温暖化対策推進法:第2条第3項(温室効果ガス)
道路法:施行令第19条の13(車両の通行の制限)
船舶安全法:危規則第3条危険物告示別表第1(高圧ガス)
港則法:施行規則第12条(危険物告示;高圧ガス)
航空法:施行規則第194条危険物(輸送禁止の物件)