ＮＦ３ 三フッ化窒素
応急処置
| 吸入：肺及び腎臓に障害をおこすことがあるため、軽度の被ばくでも直ちに医師の手当てを受ける。 皮膚：三フッ化窒素は皮膚に対する障害を起こさないが、不純物であるフッ素やＨＦによる 障害を防止するため、被ばく部所を清浄な流水で洗浄する。 眼 ：三フッ化窒素は反応性、分解性がないため、特に障害を起こさないが、不純物である フッ素やＨＦによる障害を起こすことがあるので被ばく部所を清浄な流水で洗浄する。 |
火災時の措置
| 消火剤：炭酸ガス消火器、ハロン消火器、水散布 使ってはならない消火剤：粉末リン酸アンモニウム、重炭酸塩等はＮＦ３と反応するため、不可。 消火方法：支燃性のため、極力可燃物及び火災から遠ざける。 消火を行う者の保護：消化を行う者は、空気呼吸器、保護手袋等の保護具を着用する。 |
漏出時の措置
| 少量漏洩：汚染地域での作業は空気呼吸器及び保護具を着用し必ず複数で行う。 の場合 ：移送中で漏洩が止まらない場合は、開放された場所に移し、部外者が入らないよう周囲を 監視するとともに販売業者・製造業者に連絡し指示を受ける。 大量漏洩：汚染地域はロープ等で囲み、部外者が立ち入らないよう漏洩がおさまるまで の場合 周囲を監視する。 人体に対する注意事項：毒性であり、窒息性のあるガスであるため、 保護具及び緊急時措置 漏出ガスを吸入しない様にする。 |
適用法令
| 高圧ガス保安法：第２条（圧縮ガス） ：一般高圧ガス保安規則第２条（毒性ガス） 労働安全衛生法：法第５７条２第１項、労働省通達変異原性が認められた新規化学物質 ：規則第24条の14、15(危険有害化学物質に関する危険性又は有害性の表示等) ：半導体製造工程における安全対策指針（特殊材料ガス） 化学物質管理促進法：該当しない。 毒物及び劇物取締法：該当しない。 地球温暖化対策推進法：第２条第３項（温室効果ガス） 土壌汚染対策法：施行令第１条 第２種特定有害物質（フッ素及びその化合物） 水質汚濁防止法：施行令第２条 有害物質（フッ素及びその化合物） 道路法：施行令第１９条の１３（車両の通行の制限） 船舶安全法：危規則第３条危険物告示別表第１（高圧ガス） 港則法：施行規則第１２条（危険物告示；高圧ガス） 航空法：施行規則第１９４条危険物（高圧ガス） |