WF6 六フッ化タングステン
応急処置
吸入:蒸気を吸入した場合は、速やかに新鮮な空気の場所に移し、安静、保温に努め、 急いで医師の手当てを受ける。 皮膚:汚染した衣服や靴を直ちに脱がせ被ばく部を多量の清浄な水で洗浄する。 眼 :直ちに清浄な流水で洗浄する。 |
火災時の措置
消火剤:ABC消火剤、炭酸ガス、水散布 使ってはならない消火剤:情報なし 消火方法:有毒なので空気呼吸器を着用の上、風上より出来るだけ遠くから消火作業を行う。 火災時の特有:本品は不燃性であり、火災を助長することはないが、加熱により腐食性、 の有害危険性 毒性の激しい蒸気を発生する。 消火を行う者の保護:空気呼吸器、酸性ガス用防毒マスク、保護眼鏡、保護手袋等の着用 |
漏出時の措置
少量漏洩:汚染地域での作業は空気呼吸器及び保護具を着用し必ず複数で行う。 の場合 大量漏洩:汚染地域はロープ等で囲み、部外者が立ち入らないよう漏洩がおさまるまで の場合 周囲を監視する。 人体に対する注意事項:漏出ガスを吸入しない様にする。 保護具及び緊急時措置 |
適用法令
高圧ガス保安法: 労働安全衛生法:タングステン及びその水溶性化合物 :弗素及びその水溶性無機化合物 :施行令第18条 別表第9(名称等を表示すべき危険物及び有害物) :半導体製造工程における安全対策指針(特殊材料ガス) 化学物質管理促進法:法第2条第2項、施行令第1別表第1 (第1種指定化学物質:ふっ化水素及びその水溶性塩) 毒物及び劇物取締法:第2条別表第1毒物(六弗化タングステン及びこれを含有する製剤。) 労働基準法:法第75条第2項、施行規則第35条、別表第1の2第4号1 :昭53労告36号(疾病化学物質:弗素及びその無機化合物(弗化水素酸を除く。)) 土壌汚染対策法:施行令第1条 第2種特定有害物質(フッ素及びその化合物) 水質汚濁防止法:施行令第2条 有害物質(フッ素及びその化合物) 水道法:第4条第2項 水質基準物質(無機フッ素化合物) 下水道法:第9条の4 水質基準物質(フッ素及びその化合物) 道路法:施行令第19条の13(車両の通行の制限) 船舶安全法:危規則第3条危険物告示別表第1(高圧ガス) 港則法:施行規則第12条(危険物告示;高圧ガス) 航空法:施行規則第194条危険物(高圧ガス) |