その他半導体用材料ガス

SiHCℓ3　  三塩化シラン
CF4　　　四フッ化メタン
TEOA　　トリエキシルアルシン
TDMAT　 テトラキスジ メチルアミノチタン
TMG　　 トリメチルガリウム
TEG　　  トリエチルガリウム
TMA　　 トリメチルアミン
TMI　　  トリメチルインジウム
DMZ　　 ジメチル亜鉛
DEZ　　  ジエチル亜鉛