TOP/商品とサービス/ガス販売/特殊材料ガス(半導体・液晶用)/C5F8・CH2F2・CH3F
C5F8 オクタフルオロシクロペンテン
CAS No, 559-40-0
性質 |
関係法令 |
状態 |
自然 |
可燃 |
不燃 |
支燃 |
毒性 |
腐食 |
危険物 |
毒劇物 |
特化物 |
圧縮 |
液化 |
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○ |
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○ |
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|
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○ |
分子量 |
ガス密度 kg/m3 (0℃.1atm) |
比重 (空気=1) |
液密度 kg/L (沸点) |
爆発限界 %(空気中) |
許容濃度 ppm (ACGIH) |
212.00 |
7.31 |
1.58 |
1.58 |
- |
- |
応急処置
- 吸入:蒸気を吸入した場合は、速やかに新鮮な空気の場所に移し、
- 安静、保温に努め、急いで医師の手当てを受ける。
- 皮膚:汚染された衣類や靴を直ちに脱がせ被ばく部を多量な清浄な水で洗浄する。
- :洗浄が不十分であったり、処置が遅れると皮膚に障害が残る可能性がある。
- 眼 :少なくとも15分以上の洗浄を行い完全に洗い流す。
火災時の措置
- 消火剤:この物質は不燃性のため、周囲の火災状況に合わせる。
- 使ってはならない消火剤:情報なし。
- 消火方法:有毒なので空気呼吸器を着用の上、風上より出来るだけ遠くから消火作業を行う。
- 火災時の特有:加熱による分解でフッ化水素、フッ化カルボニルを発生する可能性がある。
- の有害危険性
- 消火を行う者:消火を行う者は、陽圧自給式空気呼吸器、保護手袋、安全ゴーグル、安全靴等の
- の保護 保護具を着用する。
漏出時の措置
- 少量漏洩:漏洩を発見したら、先ず部外者を安全な場所に避難させ、汚染空気を除害装置と
- の場合 連結した排気設備を用いて排気する。
- :容器から液体状態のガスが漏洩すると、急激に蒸発し汚染地域を拡大するため
- 容器を立てて処理する等の、液状の漏洩を回避する措置をする。
- 大量漏洩:汚染地域はロープ等で囲み、部外者が立ち入らないよう漏洩がおさまるまで
- の場合 周囲を監視する。
- 人体に対する注意事項:漏洩ガスを吸入しないようにする。
適用法令
- 高圧ガス保安法:第2条(液化ガス)
- 労働安全衛生法:規則第24条の14、15
- (危険有害化学物質に関する危険性又は有害性の表示等)
- 化学物質管理促進法:該当しない。
- 毒物及び劇物取締法:該当しない。
- 道路法:施行令第19条の13(車両の通行の制限)
- 船舶安全法:危規則第3条危険物告示別表第1(毒物)
- 港則法:施行規則第12条(危険物告示;毒物)
- 航空法:施行規則第194条危険物(毒物)
CH2F2 二フッ化メタン
CAS No, 75-10-5
性質 |
関係法令 |
状態 |
自然 |
可燃 |
不燃 |
支燃 |
毒性 |
腐食 |
危険物 |
毒劇物 |
特化物 |
圧縮 |
液化 |
|
○ |
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|
|
○ |
分子量 |
ガス密度 kg/m3 (0℃.1atm) |
比重 (空気=1) |
液密度 kg/L (沸点) |
爆発限界 %(空気中) |
許容濃度 ppm (ACGIH) |
52.00 |
- |
1.8 |
1.052(0℃) |
13.3〜29.3 |
- |
応急処置
- 吸入:酸素欠乏により人事不省に陥ったときは、新鮮な空気の場所に移し
- 安静、保温に努め、新鮮な空気を吸わせるか、酸素吸入を行う。
- 皮膚:凍傷の恐れがあるので、直ちに患部を41〜46℃の温水等で温めるとともに
- 医師の手当てを受ける。
- 眼 :直ちに清浄な流水で少なくとも15分以上の洗浄を行い完全に洗い流す。
火災時の措置
- 消火剤:周辺の火災に対し適切な消火剤を使用する。
- :小規模火災ではドライケミカル消火剤または炭酸ガス消火剤。
- 消火方法:ガスの漏洩が直ちに停止できる場合は、散水、水噴霧、消火器で火災を
- 速やかに消火する。散水により容器を冷却する。
- 火災時の特有:漏洩ガス火災の場合には、漏洩が安全に停止されない限り消火を行わないこと。
- の有害危険性 安全に対処できるならば、着火源を除去する。
- 消火を行う者:消火を行う者は、陽圧自給式空気呼吸器、保護手袋、安全ゴーグル、安全靴等の
- の保護 保護具を着用する。
漏出時の措置
- 少量漏洩:容器からの漏洩が止まらない場合、着火源を取り除き、部外者が立ち入らないよう
- の場合 周囲を監視しながら、製造業者または販売業者に連絡して指示を受ける。
- :液状の漏洩物が皮膚にふれると凍傷の恐れがあるため、皮膚の露出を避け
- 保護手袋を着用する。
- 大量漏洩:被災者がいる場合には空気呼吸器を着用し、被災者を速やかに安全な場所に運び出す。
- の場合 当該作業は必ず複数にて行う。
- 人体に対する注意事項:漏洩ガスを吸入しないようにする。
適用法令
- 高圧ガス保安法:第2条(液化ガス)
- :一般高圧ガス保安規則第2条第4の2(特定不活性ガス)
- 労働安全衛生法:規則第24条の14、15
- (危険有害化学物質に関する危険性又は有害性の表示等)
- 化学物質管理促進法:該当しない。
- 毒物及び劇物取締法:該当しない。
- 地球温暖化対策推進法:第2条第3項(温室効果ガス)
- 道路法:施行令第19条の13(車両の通行の制限)
- 船舶安全法:危規則第3条危険物告示別表第1(高圧ガス)
- 港則法:施行規則第12条(危険物告示;高圧ガス)
- 航空法:施行規則第194条危険物(輸送禁止の物件)
CH3F フルオロメタン
CAS No, 593-53-3
性質 |
関係法令 |
状態 |
自然 |
可燃 |
不燃 |
支燃 |
毒性 |
腐食 |
危険物 |
毒劇物 |
特化物 |
圧縮 |
液化 |
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○ |
|
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○ |
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○ |
分子量 |
ガス密度 kg/m3 (0℃.1atm) |
比重 (空気=1) |
液密度 kg/L (沸点) |
爆発限界 %(空気中) |
許容濃度 ppm (ACGIH) |
34.03 |
1.519 |
0.88〜1.2(-78℃) |
0.557(-25℃) |
- |
2.5mg/m3 |
応急処置
- 吸入:直ちに空気の新鮮な場所へ移動し、安静を保ち呼吸を管理する。
- :呼吸困難を起こしている場合には、酸素吸入を行う。
- 皮膚:衣類に付着した場合には、衣類の上から付着した部分を多量の清浄な水で洗浄し、
- さらに衣服を脱がせ、洗浄な水で最低15分間洗浄する。
- 眼 :直ちに清浄な流水で最低15分間洗浄する。
- :眼球の隅々まで流水が行き渡るよう目瞼を指でよく開いて洗浄する。
火災時の措置
- 消火剤:ドライケミカル、炭酸ガス消火剤、泡消火剤
- 使ってはならない消火剤:情報なし。
- 消火方法:火災を発見したら、先ず部外者を安全な場所へ避難させる。
- :ガスの元弁、容器弁等を締め、火災場所へのガスの供給を停止する。
- 火災時の特有:容器弁が壊れたときなどは、容器はロケットのように飛ぶことがある。
- の有害危険性 容器を安全な場所に搬出すること。
- 消火を行う者:耐火手袋を着用する。容器または容器弁が損傷した疑いのある時は、
- の保護 必ず空気呼吸器を着用し、風上より出来るだけ遠くから消火作業にあたる。
漏出時の措置
- 少量漏洩:移送中で漏洩が止まらない場合、開放された安全な場所に搬出し、部外者が立ち
- の場合 入らないよう周囲を監視しながら、製造業者または販売業者に連絡して指示を受ける。
- 大量漏洩:汚染地域はロープで囲み、部外者が立ち入らないよう漏洩がおさまるまで
- の場合 周囲を監視する。
- 人体に対する注意事項:漏洩ガスを吸入しないようにする。
適用法令
- 高圧ガス保安法:第2条(圧縮ガス)
- :一般高圧ガス保安規則第2条(可燃性ガス)
- 労働安全衛生法:施行令別表第1(危険物;可燃性のガス)
- :法第57条の3(変異原性が認められた新規化学物質)
- :規則第24条の14、15
- (危険有害化学物質に関する危険性又は有害性の表示等)
- 化学物質管理促進法:該当しない。
- 毒物及び劇物取締法:該当しない。
- 地球温暖化対策推進法:第2条第3項(温室効果ガス)
- 道路法:施行令第19条の13(車両の通行の制限)
- 船舶安全法:危規則第3条危険物告示別表第1(高圧ガス)
- 港則法:施行規則第12条(危険物告示;高圧ガス)
- 航空法:施行規則第194条危険物(高圧ガス)