保有設備一覧

半導体工場等に供給している高純度ガス測定用の分析機器（大気圧イオン化質量分析計、ガスクロマトグラフ分析計、黄燐発光式微量酸素計）、ガス供給配管施工後の清浄度検査機器（静電容量式露点計、Ｈｅリークディテクター）、配管・バルブ・フィルター等のガス供給部材の性能評価機器（走査型電子顕微鏡、ｴﾈﾙｷﾞｰ分散型分析装置、マイクロスコープ）、PFCガス等の工場排ガス測定の分析機器（フーリエ変換赤外分光光度計）、また作業環境測定用の分析機器（原子吸光光度計）を取り揃えています。

• AA（原子吸光分光光度計）

• デジタルマイクロスコープ

• マスクフィットテスター MT-05U

• 大気圧イオン化質量分析計

• GC（ガスクロマトグラフ質量分析計）

• Pura transmitter（静電容量式露点計）

• TOA-4（黄燐発光式微量酸素分析計）

• SEM（走査型電子顕微鏡）／EDS（エネルギー分散型X線分析計）

• パーティクルカウンター

• Ｈｅディテクター