SEM（走査型電子顕微鏡）／EDS（エネルギー分散型X線分析計）
カテゴリー
半導体部材/化成品
設備技術
ガスサービス
 | 【測定ガス】 ■表面状態の解析 ■表面の組成（元素）分析 【用途】 ■ガス供給部材のトラブル解析評価 ■微細加工製品の観察 |