保有設備一覧
半導体工場等に供給している高純度ガス測定用の分析機器（大気圧イオン化質量分析計、ガスクロマトグラフ分析計、黄燐発光式微量酸素計）、ガス供給配管施工後の清浄度検査機器（静電容量式露点計、Ｈｅリークディテクター）、配管・バルブ・フィルター等のガス供給部材の性能評価機器（走査型電子顕微鏡、ｴﾈﾙｷﾞｰ分散型分析装置、マイクロスコープ）、PFCガス等の工場排ガス測定の分析機器（フーリエ変換赤外分光光度計）、また作業環境測定用の分析機器（原子吸光光度計）を取り揃えています。