フ－リエ変換式赤外分光分析計
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 | 【測定ガス】 ■特材ガス、ＰＦＣガス 【用途】 ■プロセス装置の排気ガス濃度測定 ■排ガス除害装置の評価（分解効率） ■特材ガス中の不純物測定 |