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材料ガス(半導体・液晶用)・有機金属化合物
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ウエキコーポレーションは、Si半導体・化合物半導体・液晶・太陽電池・光ファイバー等の様々な 分野で使用する、特殊材料ガス、毒性ガス、可燃性ガスなどの材料ガス(半導体用ガス・液晶用ガス)、 有機金属化合物を研究開発等の少量から量産向け大量供給まで対応しております。
SiH
4
モノシラン
PH
3
ホスフィン
B
2
H
6
ジボラン
AsH
3
アルシン
NH
3
アンモニア
HCℓ
塩化水素
SiH
2
Cℓ
2
ジクロロシラン
Si
2
H
6
ジシラン
SiHCℓ
3
三塩化シラン
SiCℓ
4
四塩化ケイ素
BCℓ
3
三塩化ホウ素
NF
3
三フッ化窒素
WF
6
六フッ化タングステン
HBr
臭化水素
Cℓ
2
塩素
BF
3
三フッ化ホウ素
CO
一酸化炭素
F
2
フッ素
SF
6
六フッ化硫黄
CF
4
四フッ化メタン
C
2
F
6
六フッ化エタン
C
3
F
8
八フッ化プロパン
C
4
F
6
ヘキサフルオロ−1
3−ブタジエン
C
4
F
8
バーフルオロシクロブタン
C
5
F
8
オクタフルオロシクロベンテン
CH
2
F
2
二フッ化メタン
CH
3
F
フルオロメタン
CHF
3
三フッ化メタン
CℓF
3
三フッ化塩素
SiF
4
四フッ化ケイ素
N
2
O
亜酸化窒素
HF
フッ化水素
TEOS
テトラエトキシシラン
TEOA
トリエキシルアルシン
TEB
トリエトキシボロン
TMB
トリメトキシボロン
TMS
トリメチルシラン
TDMAT
テトラキスジ
メチルアミノチタン
TMG
トリメチルガリウム
TEG
トリエチルガリウム
TMA
トリメチルアミン
TMI
トリメチルインジウム
DMZ
ジメチル亜鉛
DEZ
ジエチル亜鉛
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